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製品情報

エッチング装置

アルバックのエッチング装置は、新型不揮発性メモリーから化合物半導体の難エッチング材料におけるエッチングまで、あらゆるニーズに対応します。

量産用ドライエッチング装置 NE-5700/NE-7800

量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡...

オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置 NLD-5700

オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ(NLD)源を搭載した量産用ドライエッチング装置...

研究開発向けNLDドライエッチング装置 NLD-570

研究開発向けNLDドライエッチングNLD-570は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ(NLD)による低圧・低電子温度・高密...

ドライエッチング装置 APIOS NE-950EX

LED向け量産専用ドライエッチング装置「NE-950EX」は、当社従来比140%の生産性を実現。ICP高密度プラズマ源やアルバック独自...

実験用小型エッチング装置 CE-L

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。タッチパネル操作に...

バッチ式ドライエッチング装置 ULDEX-1600

ULDEX-1600は太陽電池シリコン基板で、エッチングガスを導入し高周波パワーにて表面凸凹構造を形成するプロセスを提供する装置です。...

バッチ式自然酸化膜除去装置 RISETM-300

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact...

研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置 NE-550EX

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP(ISM=Inductively Super Magnetro...

高密度プラズマドライエッチング装置 ULHITETM NE-7800H

高密度プラズマドライエッチング装置ULHITETM NE-7800HはFeRAM、...

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