量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡...

オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ（NLD）源を搭載した量産用ドライエッチング装置...

研究開発向けNLDドライエッチングNLD-570は、アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ（NLD）による低圧・低電子温度・高密...

LED向け量産専用ドライエッチング装置｢NE-950EX｣は、当社従来比140％の生産性を実現。ICP高密度プラズマ源やアルバック独自...

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。タッチパネル操作に...

ULDEX-1600は太陽電池シリコン基板で、エッチングガスを導入し高周波パワーにて表面凸凹構造を形成するプロセスを提供する装置です。...

バッチ式自然酸化膜除去装置RISE^TM-300は、LSIのDeep-contact...

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP（ISM=Inductively Super Magnetro...

高密度プラズマドライエッチング装置ULHITE^TM NE-7800HはFeRAM、...