オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置
NLD-5700

成膜関連装置エッチング装置

オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ（NLD）源を搭載した量産用ドライエッチング装置です。 （アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ（NLD）による低圧・低電子温度・高密度プラズマを搭載したドライエッチング装置。）

用途

• 光デバイス（回析格子や変調器、光導波路や光スイッチ等々）、凹凸型のマイクロレンズ。
• 流体経路作成(μ-TAS）やフォトニック結晶。

特長

• クリーンルーム内作業で2室（NLDや有磁場ICP、CCPやアッシング室）への拡張ができる。
• NLDは時空間制御が可能なプラズマのためドライクリーニングが容易。
• 簡単なチャンバーメンテナンスを実現。
• マスクエッチングから石英・ガラスのエッチングまでプロセスソリューションを提供。
• 半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制。