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製品情報

油回転真空ポンプ
VDシリーズ Ver.C

VDシリーズVer.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式の回転翼型油回転真空ポンプで到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現しました。オプション仕様も充実しており、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。


用途

  • 蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置
  • 分析機器・リークテスト装置
  • ガス置換・液体注入
  • 真空乾燥・凍結乾燥・真空脱気・真空断熱
  • 真空吸着・真空成型
  • その他各種真空装置
  • 特長

  • ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用
    200~240V/380~460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能としました。

  • 強制給油方式の採用
    大気圧付近でも排気速度が安定しています。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。

  • 特殊用途向けにもオプション対応
    標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様・B仕様・H仕様)を用意しました。

  • データダウンロード

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