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製品情報

ゲートバルブ

真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されたゲートバルブです。コンダクタンス大きく省スペースに有効です。

大型振り子バルブ VFRシリーズ

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ VAHシリーズ

VAHシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された手動式高真空ゲートバルブです。コンダクタンスの調整を容易に行えます。

圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ VAPシリーズ

VAPシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダクタンスが...

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