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製品情報

バルブ / フランジ 配管部品関連

アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。L型バルブからゲートバルブまで、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインアップしています。
また、超高真空対応のベーカブルフランジのほか、UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなどを提供しています。

JISフランジ

JISに準じたアルバック規格のフランジとなります。

真空用フランジ・ガスケット寸法表(PDF[325Kb])

真空ゴムホース

真空ポンプと容器等との接続は、必ず真空専用の真空ゴムホースを使用してください。通常のホースと異なり、柔軟性に富み、外圧によるホースの崩...

大型振り子バルブ VFRシリーズ

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ VAHシリーズ

VAHシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された手動式高真空ゲートバルブです。コンダクタンスの調整を容易に行えます。

圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブ VAPシリーズ

VAPシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダクタンスが...

真空アングルバルブ VLP-SA/VLP-SB/VLP-MBシリーズ

5/8~2inchまでのSUS製バルブです。単動シリンダタイプで軸シールはOリング/ベローズから選択できます。接続フランジはISO-K...

真空アングルバルブ VLB-SA/VLB-SBシリーズ

5/8~2inchまでのSUS製バルブです。単動シリンダタイプで軸シールはOリング/ベローズから選択できます。接続フランジはISO-K...

真空アングルバルブ VLH-SB/VLH-MBシリーズ

5/8~6inchまでのSUS製バルブです。手動タイプ軸シールはベローズ、接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO...

真空アングルバルブ VLP-Uシリーズ

20B~36Bまでの大口径SS製バルブです。複動シリンダで軸シールはOリング、接続フランジはJIS-VFになります。

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