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製品情報

バルブ / フランジ 配管部品関連

アルバックの真空バルブは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発されました。L型バルブからゲートバルブまで、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインアップしています。
また、超高真空対応のベーカブルフランジのほか、UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなどを提供しています。

超高真空フィッティング  IFS・IFE・IFT・IFX・IFBシリーズ

ナイフエッジ型メタルシール方式のUFCフランジを使用した各種フィッティング、を取りそろえています。

JISフランジ

JISに準じたアルバック規格のフランジとなります。

真空用フランジ・ガスケット寸法表(PDF[325Kb])

真空ゴムホース

真空ポンプと容器等との接続は、必ず真空専用の真空ゴムホースを使用してください。通常のホースと異なり、柔軟性に富み、外圧によるホースの崩...

超高真空フランジ UFCシリーズ

UFCフランジは、ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空用ベーカブルフランジです。

超高真空変換フランジ UFCシリーズ

超高真空変換フランジは、UFCフランジの口径の異なるフランジを接続するものです。 (UFCフランジ:ナイフエッジ型メタルシール方式の超...

超高真空変換フランジ

超高真空変換フランジは、UFCフランジの口径の異なるフランジを接続するものです。 (UFCフランジ:ナイフエッジ型メタルシール方式の超...

超高真空ゼロレングス覗窓 TVUシリーズ

TVU-FVシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器内を広い視野にわたり観察するための覗窓です。接続フランジは、ナイフエッジ型メタル...

超高真空直線導入端子 TSUシリーズ

TSUシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に手動で直線運動を導入するための端子です。大気側のハンドルを回転させると、真空側の軸が...

超高真空回転導入端子 TDUシリーズ

TDUシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に手動で回転運動を導入するための端子です。大気側のハンドルを回転させると、ベローズを介...

電流導入端子 CMSシリーズ

電流導入端子CMSシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に電流導入および電圧印加をするための端子です。

大型振り子バルブ VFRシリーズ

アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ(ゲートバルブ)です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

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