セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。
用途
- 分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系
- 蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系
- H2、Heなどの軽ガスの主排気系
特長
- 取り付け方向自由
取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。 - オンボードコントローラ搭載
コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。 - 高圧縮比・高背圧
圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能のため補助ポンプの小型化が可能です。 - 3種類のフランジを用意
VG100、ICF152、ISO100-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。 - 清浄な真空
運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。 - 低騒音
無負荷運転時の騒音は50dB以下と静かです。（ISO-100Kフランジタイプの測定値です） - 適合規格
CE、NRTL適合
仕様
型式 |
UTM300B | |||
| 冷却方式 | 自然空冷 | 強制空冷 | ||
| 吸気口側フランジ *1 | VG100, ICF152, ISO100-K | |||
| 排気口側フランジ | KF16 | |||
| 排気速度（保護ネット無し時） | N2 |
280 L/s | ||
He |
270 L/s | |||
H2 |
220 L/s | |||
| 到達圧力（2段式補助ポンプ使用時） | ベーキング後 |
*2 | 10-8Pa | |
ベーキング前 |
10-6Pa | 10-6Pa | ||
| 最大圧縮比 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||
| 最大吸気口圧力 *3, *4, *5 | N2 |
0.06Pa | 0.7Pa | |
| 最大排気口圧力 *3, *4, *6 | N2 |
100Pa | 1000Pa | |
| 連続運転最大流量 *7 補助ポンプ120L/min使用時 |
ガスパージ無 |
N2 |
10sccm | 100sccm |
ガスパージ無 |
Ar |
- | 30sccm | |
ガスパージ有 |
- | 40sccm | ||
| 推奨補助ポンプ（10SCCM吸引時）*8 | 120L/min以上 | |||
| 質量 | VG, ISO / ICF |
6kg / 9kg | 6.3kg / 9.3kg | |
| 回転数 | 60000rpm | |||
| 起動時間（80%まで）（DC24V 背圧5Pa以下時） | 3.5分 | |||
| 表面処理 *9 | 無し | |||
| 取り付け方向 | 全方位 | |||
| 騒音 *10 | 50dB（A）未満 | |||
| 標準付属品 | 取扱説明書（和英併記）、保護ネットキャップ（VG,ICFのみ、ISOフランジはガスケットに組み込み）、 ガスケット（吸気口用）、ダストキャップ（吸気口，排気口，コネクタ用）各1 |
|||
| *1 | ご注文時にVG100,ICF152,ISO100-Kから選択ください。 |
| *2 | ベーキングはICFフランジの強制空冷使用時のみ実施可能です。 |
| *3 | 周囲温度25ºCの時の値です。周囲温度が変わると許容値は変わります。 |
| *4 | 最大吸気口圧力と最大排気口圧は同時に満たすことは出来ません。 |
| *5 | 連続排気可能な最大吸気口圧力です。 |
| *6 | 吸気口からの排気ガス流量0 sccmの場合の連続運転可能な排気口の最大圧力です。 |
| *7 | 周囲温度が5〜25ºCの場合の値です。ガスパージはN2ガス25sccmでご使用ください。 |
| *8 | ガス量が多くなる場合は、排気口の圧力が最大排気口圧力以下になるような補助 ポンプを選定ください。 |
| *9 | 反応性ガス、腐食性ガス、Gaを含むガスを流さないでください。その他のガスについてはお問い合わせください。 |
| *10 | ISOフランジタイプ。当社測定法による。 |
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