有機EL成膜装置
SOLCIET, SATELLA, ZELDAシリーズ

成膜関連装置蒸着・ロードロック式真空蒸着装置

アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。

用途

• 有機ELディスプレイ、有機EL照明

特長

• SOLCIETは、前処理室、有機成膜室、電極成膜室および中間室、グローブボックスといった独立した部屋構成を持っており、材料評価からデバイス特性評価まで行なえる実験システムです。各種蒸発源はもとよりスパッタカソード等の豊富なオプションも用意し実験ユースの幅を広げます。対応基板サイズは、□100mmを標準としています。
• SATELLA は、各プロセス室を独立させたマルチチャンバースタイルとし、SOLCIETでは困難であった、フルカラーデバイス評価を可能としています。8角形の搬送室を有し、ニーズに合わせ有機成膜室を2〜4室まで対応できます。また、高精細マスク合わせ機構を搭載しアクティブマトリックスフルカラーデバイスにも対応しております。対応基板サイズは、□200mmを標準としています。
• ZELDAシリーズは、量産に対応したシステムです。新開発の蒸発源を盛り込むなど豊富なアプリケーションを用意しております。対応基板サイズは、G2以上対応可能です。