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製品情報

蒸着・ロードロック式

様々な製品、使用用途に応じたロードロック式蒸着装置です。

有機EL成膜装置 SOLCIET, SATELLA, ZELDAシリーズ

アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。

有機材料開発用蒸着装置 Mini-Lab

有機材料開発用蒸着装置Mini-Labは、有機膜、アルカリ金属、金属膜等を成膜することを目的とした材料開発用のロードロック式蒸着装置で...

枚葉式蒸着装置 EME-400

枚葉式蒸着装置EME-400は、六角形コアを搭載した枚葉式ロードロック装置です。各プロセスチャンバーはロボット室を介してゲートバルブで...

ロードロック式蒸着装置 CV-200

ロードロック式蒸着装置CV-200は基板仕込室・成膜室の2 室からなるロードロック式蒸着装置です。ロードロック式の採用により、常にクリ...

有機・無機複合成膜装置 VEP シリーズ

有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズは、蒸着、スパッタリング、プラズマ重合、蒸着重合法などによりさまざまな有機・無機材料を成膜できる...

巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、...

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