アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機器、産業機器に必須な蒸着技術を提供しています。
バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動...
【水冷式油拡散ポンプ（1100L/sec）＋油回転真空ポンプ】架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ...
ターボ分子ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開...
水冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・...
空冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...
空冷拡散ポンプ（200L/sec）＋油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。パイプフレームにメイ...
空冷拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転ポンプ採用（半自動式）。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。パイプフレ...
空冷拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。パイプフレームにメイン...
アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。
プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、...
