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製品情報

真空蒸着装置

アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機器、産業機器に必須な蒸着技術を提供しています。

バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ

バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動...

実験用小型蒸着装置 EX-200

実験用小型蒸着装置EX-200は、EBガン及び抵抗加熱蒸発源を用いて、金属膜または酸化膜等を成膜することを目的とした蒸着装置です。

バッチ式真空成膜装置 ULEYES

自動車ヘッドランプリフレクターなどに反射膜としてアルミ(Al)薄膜、その保護膜として酸化ケイ素(SiOx)薄膜を形成することを目的とし...

高速型真空蒸着装置 VPC-1100

【水冷式油拡散ポンプ(1100L/sec)+油回転真空ポンプ】
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ...

小型真空蒸着装置 VTS-350M/ERH

ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...

小型真空蒸着装置 VTR-350M/ERH

ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...

小型真空蒸着装置 VWR-400M/ERH

水冷式油拡散ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・...

小型真空蒸着装置 VFR-200M/ERH

空冷式油拡散ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...

卓上型/小型真空蒸着装置 VPC-260F

空冷拡散ポンプ(200L/sec)+油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置(抵抗加熱式)。
パイプフレームにメイ...

上型/小型真空蒸着装置 VPC-061A

空冷拡散ポンプ(50L/sec)+油回転ポンプ採用(半自動式)。低コストタイプの小型真空蒸着装置(抵抗加熱式)。
パイプフレ...

卓上型/小型真空蒸着装置 VPC-061

空冷拡散ポンプ(50L/sec)+油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置(抵抗加熱式)。
パイプフレームにメイン...

有機EL成膜装置 SOLCIET, SATELLA, ZELDAシリーズ

アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。

有機材料開発用蒸着装置 Mini-Lab

有機材料開発用蒸着装置Mini-Labは、有機膜、アルカリ金属、金属膜等を成膜することを目的とした材料開発用のロードロック式蒸着装置で...

枚葉式蒸着装置 EME-400

枚葉式蒸着装置EME-400は、六角形コアを搭載した枚葉式ロードロック装置です。各プロセスチャンバーはロボット室を介してゲートバルブで...

ロードロック式蒸着装置 CV-200

ロードロック式蒸着装置CV-200は基板仕込室・成膜室の2 室からなるロードロック式蒸着装置です。ロードロック式の採用により、常にクリ...

有機・無機複合成膜装置 VEP シリーズ

有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズは、蒸着、スパッタリング、プラズマ重合、蒸着重合法などによりさまざまな有機・無機材料を成膜できる...

巻取式真空蒸着装置 EWシリーズ

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、...

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