アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機器、産業機器に必須な蒸着技術を提供しています。
バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動...
実験用小型蒸着装置EX-200は、EBガン及び抵抗加熱蒸発源を用いて、金属膜または酸化膜等を成膜することを目的とした蒸着装置です。
自動車ヘッドランプリフレクターなどに反射膜としてアルミ(Al)薄膜、その保護膜として酸化ケイ素(SiOx)薄膜を形成することを目的とし...
【水冷式油拡散ポンプ(1100L/sec)+油回転真空ポンプ】架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ...
ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開...
水冷式油拡散ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・...
空冷式油拡散ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...
空冷拡散ポンプ(200L/sec)+油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置(抵抗加熱式)。パイプフレームにメイ...
空冷拡散ポンプ(50L/sec)+油回転ポンプ採用(半自動式)。低コストタイプの小型真空蒸着装置(抵抗加熱式)。パイプフレ...
空冷拡散ポンプ(50L/sec)+油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置(抵抗加熱式)。パイプフレームにメイン...
アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。
有機材料開発用蒸着装置Mini-Labは、有機膜、アルカリ金属、金属膜等を成膜することを目的とした材料開発用のロードロック式蒸着装置で...
枚葉式蒸着装置EME-400は、六角形コアを搭載した枚葉式ロードロック装置です。各プロセスチャンバーはロボット室を介してゲートバルブで...
ロードロック式蒸着装置CV-200は基板仕込室・成膜室の2 室からなるロードロック式蒸着装置です。ロードロック式の採用により、常にクリ...
有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズは、蒸着、スパッタリング、プラズマ重合、蒸着重合法などによりさまざまな有機・無機材料を成膜できる...
プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、...