バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動...

実験用小型蒸着装置EX-200は、EBガン及び抵抗加熱蒸発源を用いて、金属膜または酸化膜等を成膜することを目的とした蒸着装置です。

自動車ヘッドランプリフレクターなどに反射膜としてアルミ（Al）薄膜、その保護膜として酸化ケイ素（SiOx）薄膜を形成することを目的とし...

【水冷式油拡散ポンプ（1100L/sec）＋油回転真空ポンプ】
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ...

ターボ分子ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開...

ターボ分子ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電...

水冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・...

空冷式油拡散ポンプ＋油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ...

空冷拡散ポンプ（200L/sec）＋油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。
パイプフレームにメイ...

空冷拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転ポンプ採用（半自動式）。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。
パイプフレ...

空冷拡散ポンプ（50L/sec）＋油回転ポンプ採用。低コストタイプの小型真空蒸着装置（抵抗加熱式）。
パイプフレームにメイン...

アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。

有機材料開発用蒸着装置Mini-Labは、有機膜、アルカリ金属、金属膜等を成膜することを目的とした材料開発用のロードロック式蒸着装置で...

枚葉式蒸着装置EME-400は、六角形コアを搭載した枚葉式ロードロック装置です。各プロセスチャンバーはロボット室を介してゲートバルブで...

ロードロック式蒸着装置CV-200は基板仕込室・成膜室の2 室からなるロードロック式蒸着装置です。ロードロック式の採用により、常にクリ...

有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズは、蒸着、スパッタリング、プラズマ重合、蒸着重合法などによりさまざまな有機・無機材料を成膜できる...

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、...