油拡散エゼクタポンプ PFLシリーズ
ULVACのPFL型油拡散ポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を高く評価されています。
特長
- 同一口径の他のポンプに比べて、より大きな排気速度をもっています。
- 油蒸気の逆流が少ないポンプです。
- 所要電力、油量が少なく効率のよい経済的なポンプです。
- ヒータの交換、修理が容易です。
- 溶接技術は極めて優れており、かつヘリウムリークディテクタによって完璧な洩れテストが実施されていますので、機械的にも、真空的にも信頼度は最高です。