巻取式真空蒸着装置
EWシリーズ

成膜関連装置蒸着・ロードロック式真空蒸着装置産業用装置産業用巻取

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、包装材料、コンデンサ、磁気テープ他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。

用途

• 包装材料、透明ガスバリア、金銀糸
• コンデンサ
• 磁気テープ
• 光学膜

特長

• 基板搬送は最新の巻取制御技術を駆使し、各種材質、サイズに応じ安定した走行を実現しています。
• 蒸着目的に応じ、最適な蒸発源（誘導加熱方式、抵抗加熱方式、ＥＢ加熱方式）を選択できます。
• プロセス条件を最適化する為に、各種前処理／後処理機構を取り揃えております。
• オンライン測定が可能な、透過式膜厚モニタ・渦電流式膜厚モニタ・抵抗値モニタ・等を取り揃えております。