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製品情報

スパッタ・インライン式

生産現場から寄せられる生の声をタイムリー反映した各種成膜プロセスに対応しています。

スパッタリング装置 SMD シリーズ

SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。SMDシリーズだけで1000台をこえる豊富...

横型インライン式スパッタリング装置 SCH シリーズ

SCHシリーズは透明導電膜や金属膜等を成膜する横型インライン式スパッタリング装置です。太陽電池生産ラインの裏面電極膜、絶縁膜等の各種成...

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