油回転真空ポンプ
VSシリーズ [150〜288 m3/h (2500〜4800 L/min)]
VSシリーズは、1段式の回転翼型油回転真空ポンプです。構造の単純化により小型、軽量化を実現し、更に振動も大幅に低減しましたので、ポンプ設置にともなう負担を軽減することができます。また、油循環系統と冷却水系統の強化により、高吸入圧での排気性能が安定していますので、繰り返し排気の多いプロセスなどをはじめとして幅広い用途でご使用いただけます。
用途
- 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
- 真空包装、真空吸着・搬送、真空形成、真空鋳造
- 真空含浸、真空鋳造
- 真空熱処理炉、焼結炉、ろう付炉
- 真空乾燥、凍結乾燥､真空脱気
- ガス置換・充填、真空断熱
- リークテスト装置、その他
特長
- 低振動・低騒音
- 軽量・コンパクト
- 全圧力領域での連続運転に対応可能
- 優れたメンテナンス性
仕様
| 型式 | VS1501 | VS2401 | |
| 設計排気速度 | 50Hz | 150m3/h(2500L/min) | 240m3/h(4000L/min) |
| 60Hz | 180m3/h(3000L/min) | 288m3/h(4800L/min) | |
| 到達圧力 *1 | 5.3Pa | ||
| モータ *2 | 形式 | 全閉外扇型フランジモータ | |
| kW (極数) | 5.5kW(4P) | 7.5kW(4P) | |
| 電圧/周波数 | 200V/50,60Hz 220V/60Hz | ||
| 所要油量 | 8.0〜10.5L | ||
| 使用油 *3 | ULVOIL R-7 | ||
| 冷却水 | 水圧 | ≦ 0.5MPa (ゲージ圧) | |
| 水量 | 4L/min | 5L/min | |
| 温度 | 5〜30ºC | ||
| 吸気口サイズ | JIS B 2290 | VG80 相当 | |
| 排気口サイズ | JIS B 2290 | VG50 相当 | |
| 外形寸法 W×D×H | 333 x 919 x 460mm | 333 x 1039 x 460mm | |
| 質 量 *4 | 240kg | 280kg | |
| 標準付属品 | モータ(組付済)、油1台分、取扱説明書1部 | ||
| オプション | オイルミストトラップ、ガスバラストバルブ、油戻し機構 | ||
| 注) | 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。 到達圧力：5.3Pa=4 x 10-2 Torr 冷却水圧：0.5MPa=5kg/cm2 |
| *1 | ピラニ真空計にて測定 |
| *2 | オプションにて、安全増防爆型、耐圧防爆型フランジモータも対応できます。 |
| *3 | 他の油の種類の用意もありますので、お問い合わせください。 |
| *4 | 全閉外扇型モータ組付時の質量です。 |
お役立ち情報
購入時の注意点
- モーターの電圧は標準200V/50、60Hz 220V/60Hzです。その他異電圧使用の場合お問い合わせください。
- 油種類、オイルミストトラップ、その他オプション等ご指定下さい。
- 水分等の凝縮性ガスを排気する場合は、ガスバラストバルブをご選定下さい。
- 連続運転でご使用頂く場合は、油回収機構オプション取り揃えておりますのでお問い合わせください。
【VSシリーズの特型仕様対応について】
- 用途に応じて、ヘリウムタイト仕様やフッ素オイル仕様も承っています。詳細仕様、価格、納期等は弊社担当営業までお問い合わせください。
