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製品情報

ドライ真空ポンプ
CRシリーズVer.B

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。



用途

  • エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
  • 真空乾燥などの水蒸気排気(ガスバラスト使用が必要)
  • スパッタリング、蒸着などの真空装置

特長

  • 排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能/li>
  • 冷却水および窒素ガスが不要なため、ランニングコストの低減に寄与
  • DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現
  • ガスバラスト機構により、水蒸気排気が可能
  • 適合規格:CE,cTUVus

仕様


*1 到達圧力は、ガスバラストガス無しの時の値です。
*2 使用電源、電圧を上記よりお選びいただき、ご注文時にお知らせください。
*3 ガスバラスト用バルブは、オプションになります。
*4 ガスバラスト使用時の最大水蒸気処理量です。水蒸気排気時は必ずガスバラストを使用ください。

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