ドライ真空ポンプ CRシリーズ Ver.B
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。
用途
- エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
- 真空乾燥などの水蒸気排気（ガスバラスト使用が必要）
- スパッタリング、蒸着などの真空装置
特長
- 排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能/li>
- 冷却水および窒素ガスが不要なため、ランニングコストの低減に寄与
- DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現
- ガスバラスト機構により、水蒸気排気が可能
- 適合規格：CE,cTUVus
仕様
*1 到達圧力は、ガスバラストガス無しの時の値です。
*2 使用電源、電圧を上記よりお選びいただき、ご注文時にお知らせください。
*3 ガスバラスト用バルブは、オプションになります。
*4 ガスバラスト使用時の最大水蒸気処理量です。水蒸気排気時は必ずガスバラストを使用ください。
