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製品情報

上型/小型真空蒸着装置 VPC-061A

VPC-061A

空冷拡散ポンプ(50L/sec)+油回転ポンプ採用(半自動式)。低コストタイプの小型真空蒸着装置(抵抗加熱式)。
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

特長

  1. 卓上型でコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
  2. ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  3. メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  4. 停電時に自動リーク弁によりメインポンプが保護されます。
  5. RoHS対応

仕様

型  式 VPC-061A



到達圧力
1.3×10-3Pa
6.6×10-4Pa(液体窒素使用時)
排気時間
4.0×10-3Pa/20min
1.3×10-3Pa/20min(液体窒素使用時)


真空槽
ガラスベルジャー(内径φ150mm×高さ200mm)
フィードスルカラー
3ポート(底面3)
基板推奨サイズ・最大サイズ※1
□25mm ・ □50mm(Max)


蒸発電極構成
1点式
蒸発電源・数量
SEREM PSE-150C・1 式
0~10V 150A(Max)


メインポンプ
油拡散ポンプ(空冷) 50L/sec
液体窒素トラップ
有り
補助ポンプ
油回転真空ポンプ 20L/min
オイルミストトラップ
オプション


メインバルブ
バタフライバルブ
補助バルブ
三方向バルブ
自動リークバルブ
有り
操作
手動


ピラニ真空計
オプション
電離真空計
オプション

本体最大寸法
434mm(W)×320mm(D)×673mm(H)
電源最大寸法
480mm(W)×435.3mm(W)×149mm(W)
本体質量
32kg
電源質量 40kg

※1:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

ユーティリティ

型  式 VPC-061A
所要電気量
本体
100V 単相 50/60Hz 0.63kVA
電源
200V 単相 50/60Hz 1.5kVA
アース端子
D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い
本体 1φ100V
ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m
電源 1φ200V
ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図/図面ダウンロード

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VPC-061A 寸法図

CADデータダウンロード(DXF)

■ 蒸発電源 SEREM

VPC-061A 蒸発電源 SEREM

真空槽内部構成

基本構成

VPC-061A 真空槽内部構成図

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VPC-061A オプショナルパーツ

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