イオン銃／電子分光器(CMA) USG-3 パッケージ
- 低価格
- 2kVまで加速可能
- ポートアライナー付
- ご希望により取り付けフランジからイオン銃先端までの長さを調整（オプション）
特長
真空チャンバ内での試料表面スパッタクリーニングなど
仕様
2kVイオン銃*1
| ビーム電圧 | 最大2kV |
|---|---|
| ビーム電流密度 | 50μA/cm2先端より50mmの距離 |
| ビーム径 | ～6mmφ |
| 動作圧力 | 6.7×10-3Pa（Arガス導入） |
| 取付フランジ | ICF070 |
| 長さ（チャンバ内） | 178mm |
| ベーク温度 | 最大250ºC |
イオン銃コントロール
| ビーム電圧 | 0～2kV |
|---|---|
| エミッション電流 | 0mA～50mA |
| 安定度 | ± 0.5% |
| 電力 | 100V/115V, 1.5A |
| 寸法（W×H×D）※1 | 482mm×133mm×432mm |
| 質量 | 7kg |
※1 W=Width,H=Height,D=Depth
