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製品情報

イオン銃/電子分光器(CMA) USG-3 パッケージ

  • 低価格
  • 2kVまで加速可能
  • ポートアライナー付
  • ご希望により取り付けフランジからイオン銃先端までの長さを調整(オプション)


特長

真空チャンバ内での試料表面スパッタクリーニングなど

仕様

2kVイオン銃*1

ビーム電圧 最大2kV
ビーム電流密度 50μA/cm2先端より50mmの距離
ビーム径 ~6mmφ
動作圧力 6.7×10-3Pa(Arガス導入)
取付フランジ ICF070
長さ(チャンバ内) 178mm
ベーク温度 最大250ºC

イオン銃コントロール

ビーム電圧 0~2kV
エミッション電流 0mA~50mA
安定度 ± 0.5%
電力 100V/115V, 1.5A
寸法(W×H×D)※1 482mm×133mm×432mm
質量 7kg

※1 W=Width,H=Height,D=Depth

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