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製品情報

G-TRANシリーズ 大気圧ピラニゲージ
SW1-1/SW1-2

大気圧から5×10-2Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。 さらにこの真空計は従来のコントローラ(センサユニット)から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。



用途

・太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造
・装置の低真空領域のプロセス制御用に
・炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に
・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種
・製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
・振動・衝撃のある各種真空排気ライン用に

特長

・広領域測定:大気圧から5×10-2Paまでの広領域の測定が可能
・耐衝撃性の向上:耐衝撃性に富んだ設計構造(特許出願中)
・大気圧の精度が抜群:真空計の取付姿勢によらず精度が±20%以内(特許第4878289号)
・フィラメント材質・白金(Pt):フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用
・視認性の向上:異常を確認できるLEDを搭載
・ワンタッチ調整が可能:大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能
・メンテナンス性:測定子の交換が容易
・適用測定子の拡充:NW16/25仕様に加え、φ15/18仕様、コンフラットフランジ
仕様、テーパネジR1/8仕様をラインナップに追加
・測定値出力信号:圧力は0 ~ 10VのLog出力の標準装備
・制御出力信号:セットポイント2点の出力可能(SW1-1)
・シリアル通信仕様:RS-232C/RS-485通信が可能(SW1-2)
・適合規格:CE標準対応

仕様

お役立ち情報

購入時の注意点
  • ディスプレイ、ディスプレイユニットケーブル(SP1⇔ディスプレイユニット)は別売りになります。
  • ケーブル長ご指定ください。

ディスプレイ:ISG1、IM1R1、IM2R2
ディスプレイユニットケーブル:
2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m、45m、50m、60m、70m、80m、90m、100m

セレクションガイド

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