走査型X線光電子分光分析装置 (XPS/ESCA)
PHI X-tool
PHIX-toolは簡単操作で高性能XPSを実現する自動マイクロXPS装置です。
特長
仕様
| 最小ビーム径 | 20μm |
|---|---|
| 最高エネルギー分解能 | 0.5eV以下 （ Ag3d 5/2 ） |
| 試料ホルダーサイズ | 75mm×75mm |
| オプション | ドライポンプ、オフラインデータ処理システム、データ解析ソフトウェア(MultiPak) |
走査型X線光電子分光分析装置 (XPS/ESCA)
