真空機器の国内総合商社 真空機器はアルバック販売へ!
製品情報

走査型X線光電子分光分析装置 (XPS/ESCA)
PHI X-tool

PHIX-toolは簡単操作で高性能XPSを実現する自動マイクロXPS装置です。



特長

xtool_1

xtool_2xtool_3

 

 

仕様

最小ビーム径 20μm
最高エネルギー分解能 0.5eV以下 ( Ag3d 5/2
試料ホルダーサイズ 75mm×75mm
オプション ドライポンプ、オフラインデータ処理システム、データ解析ソフトウェア(MultiPak)

 

Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.