真空ポンプ油 BARRIERTA J FLUIDシリーズ
半導体製造装置、真空ポンプ油、作動油、熱媒体油、絶縁油
特長
- 耐熱性、低温性に優れ、非常に広い温度範囲で使用可能です。
- 強酸、強アルカリ等の腐食性薬品、ガスに対して強い耐性があります。
- 耐酸化性に優れています。
- ほとんどのゴム、プラスチックに対して影響を及ぼしません。
- 不燃性です。
- 低蒸気圧です。
- オイルの再生が可能です。
製品特性
| 試験項目 | BARRIERTA | 試験方法 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| J25F | J60F | J100F | J100F E | ||
| 外観 | 無色透明 | 無色透明 | 無色透明 | 無色透明 | — |
| 基油 | フッ素油 | フッ素油 | フッ素油 | フッ素油 | — |
| 比重：20℃時 | 1.88 | 1.89 | 1.89 | 1.89 | JIS K2249 |
| 引火点 | なし | なし | なし | なし | JIS K2265 |
| 粘度：40℃時 ：100℃時 |
25mm2/s 5mm2/s |
60mm2/s 9mm2/s |
95mm2/s 13mm2/s |
95mm2/s 13mm2/s |
JIS K2283 |
| 粘度指数 | 85 | 130 | 130 | 130 | JIS K2283 |
| 流動点 | − 60（℃） | − 55（℃） | − 45 （℃） | − 45（℃） | JIS K2269 |
| 銅板腐食 ※100℃ ×3H |
1a | 1a | 1a | 1a | JIS K2513 |
| 蒸気圧：20℃時 | 2×10−3Pa | 1×10−4Pa | 6×10−6Pa | 9×10−5Pa | クヌーセン・エフュージョン法 |
| 使用温度範囲 | − 55〜140（℃） | − 50〜160（℃） | − 40〜180（℃） | − 40〜180（℃） | — |
アルバック製ポンプの使用例
| 用途 | BARRIERTA | |||
|---|---|---|---|---|
| 油回転真空ポンプ | J25F | J60F | ||
| メカニカルブースターポンプ | J25F | J60F | J100F | J100F E |
| ドライポンプ | J100F | J100F E | ||
