スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。広く分析機器、加速器等に使用されています。ULVACは、ス...

GST-07L-Bは、ULVACがこれまで培ってきた超高真空分野での豊富な技術力と実績により高機能・高信頼性を実現したスパッタイオンポ...

PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースターポンプです。...

PMBシリーズVer.Dは汎用型のメカニカルブースターポンプです。オプションで表面処理や大気圧駆動型が選択でき、空冷での運転も可能とな...

大型のPMBシリーズは、ベルト駆動型による低速回転のメカニカルブースターポンプです。堅牢な揺動ピストン型油回転真空ポンプと組み合わせて...

【50 m³/h、到達圧力 4.0×10^-2Pa】
ルーツ型／実効...

吸気口径変更用の吸気管オプション部品は、ホース口タイプ・ＫＦフランジタイプ・Ｒネジタイプ・アダプターなどの 様々な口径に対応できるよう...

【50/60 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa】
ケミカルタイプ/２段排気方式/逆流防止機構付き...

【135/162 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa】
ケミカルタイプ/２段排気方式/逆流防止機構...

【200/240 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa】
ケミカルタイプ/２段排気方式/逆流防止機構...

【30/36 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa】
２段排気方式 / 逆流防止機構付き / サーマ...

潤滑油を使用する回転翼型の真空ポンプです。高性能、低騒音で信頼性の高い真空ポンプです。 GHDシリーズはマグネットカップリングを採用し...

【40/48 L/min(50/60Hz) 0.67Pa】
２段排気方式/ 逆流防止機構付き/ ガスバラスト...

【50/60 L/min　(50/60 Hz)　9.3Pa】
１段排気方式 / サーマルプロテクター内蔵 /...

【50/60 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa】
２段排気方式/ 逆流防止機構付き/ ガスバラ...

【135/162 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa　200V】
２段排気方式/ 逆流防止機構付...

【135/162 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa　100V】
２段排気方式 / 逆流防止機構...

【200/240 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa　200V】
２段排気方式/ 逆流防止機構付...

【200/240 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa】
２段排気方式 / 逆流防止機構付き / ...

【280/336 L/min　(50/60 Hz)　0.67Pa】
２段排気方式/ 逆流防止機構付き / ガ...