各種電源・ロボット関連
アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かした、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
また、成膜装置向け電源と各種EBガンを提供しています。
イオン銃/電子分光器(CMA) USG-3 パッケージ
低価格 2kVまで加速可能 ポートアライナー付 ご希望により取り付けフランジからイオン銃先端までの長さを調整(オプション)
アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かした、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
また、成膜装置向け電源と各種EBガンを提供しています。
低価格 2kVまで加速可能 ポートアライナー付 ご希望により取り付けフランジからイオン銃先端までの長さを調整(オプション)