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製品情報

薄膜計測

アルバックは、ご用途、測定目的に合った豊富なバリエーションの高速分光エリプソメータをご提供しています。

高速分光エリプソメータ UNECS-1500M(手動ステージ)

φ150mm対応の手動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500Mは、操作性の良いφ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。>> エリプソメータのラインアップはこちらから

触針式プロファイラP-7/P-17

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自動搬送機構付き触針式プロファイラ P-170

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触針式プロファイラ Alpha-Step D-500/D-600

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