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製品情報

自動搬送機構付き触針式プロファイラ P-170

P-170は実績豊富なP-17をベースに自動搬送機構を追加したモデルです。 搬送ロボット、プレアライナ、自動XY-θステージ、パターン認識機能などを標準装備していますので、カセットを置くだけの自動測定が可能です。※日本国内販売のみ



特長

■ウェーハ自動搬送機構
・Φ200mmシングルオープンカセット対応
・デュアルオープンカセット対応可(オプション)
・ウェーハ搬送ロボット、非接触プレアライナ
・Φ75mm~Φ150mm対応可(オプション)
■ウェーハ面内を自動測定
・高精度自動X-Y-θステージ採用
・1,000サイトまで測定位置を登録可能
・パターン認識機能による測定位置補正

仕様

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