用途
- 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
- 各種真空実験装置での基板搬送
特長
- 独立した4本のアームを装備し、基板2枚の同時入れ替え動作が可能。
- 7軸のアクチュエータを持ち、4本のアームそれぞれでティーチングができます。
- AWS機能(基板位置の自動補正機能)を標準装備しています。
- 10-1Paの中真空に対応します。
仕様
使用圧力領域 | 大気圧〜10-1Pa | |
ウェーハサイズ | 300mm | |
ウェーハ保持枚数 | 4枚 | |
最大到達距離 * | 880mm | |
回転角度 | 360º エンドレス | |
昇降ストローク | 90mm | |
最小旋回直径 * | 980mm | |
可搬重量(ハンド含む) | 1kg | |
動作速度 | 伸縮 | Max 1.5sec / フルストローク |
旋回 | Max 2.0sec / 180º | |
昇降 | Max 1.5sec / 20mm | |
繰り返し位置精度 | 伸縮 | ±0.2mm |
旋回 | ±0.2mm | |
昇降 | ±0.2mm | |
ティーチングペンダント | 付属 | |
コントローラ | 別置き |
*取り付けアームおよびハンドにより異なります。