用途
- 粉体を含む吸入圧力の高い連続排気
- 化学反応プロセスで発生する生成物を含む排気ウェーハ成膜プロセス（CVD等）
仕様
| 貴式 | OT-50 | OT-80 | OT-100 |
|---|---|---|---|
| A | 150 | 160 | 185 |
| B | 83 | 106 | 121 |
| C | 300 | 366 | 401 |
| D | 490 | 556 | 591 |
| E | 180 | 180 | 185 |
| F | φ140 | φ165 | φ216 |
| G | VF50 | VF80 | VF100 |
| H | VG50相当 | VG80相当 | VG100相当 |
| I | G1 | G1 | G1 |
材質
ＳＵＳ
使用油
低蒸気圧真空ポンプ用油（ULVOIL R-4）
適用機種
VD シリーズ、PKS シリーズ
取付要領図
寸法図／寸法表（単位：mm ）
