オイルフィルトレ－ションシステム　OFシリーズ／UFO・UFWシリーズ

真空ポンプポンプオプション

CVD 及びエッチングプロセスに使用される油回転真空ポンプには、反応生成物、未反応ガス、酸などが吸引されます。そのため、作動油の酸化や劣化が起こりポンプ運転の妨げとなり故障の原因となります。
OF シリ−ズは、ポンプ作動油の寿命およびメンテナンス期間の延長を可能にします。

特長

• OF-2
  CVD 装置などの粉体を多量に発生するプロセス用です。真空ポンプ油中の粉体除去を確実に行います。フィルタエレメントのD.H.C（ダスト捕集能力）は非常に大きく、ポンプ油の寿命を延ばすとともにポンプのメンテナンス間隔を長くします。
• OF-3
  多量の酸を排気するドライエッチング装置や反応性の強いガスを排気するプロセス用で、ポンプ油の寿命延長に大きな効果があります。
  スラッジを除去する粉体用フィルタエレメントと酸や反応ガスを吸収除去する中和性エレメントの組み合わせで構成します。