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製品情報

G-TRANシリーズ ピラニゲージ
SP1

センサユニット(SP1)は、G-TRANシリーズのピラニゲージ型の計測ユニットです。センサユニットは、「測定子と回路部が一体型(測定子の交換可能)」の構造となっており、コストダウンや省スペース化に適した真空計となっております。



用途

  • 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
  • 炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に
  • インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に

特長

  • トランスデューサ仕様:圧力表示器が不要な場合、
    ・真空計にかかるコストの低減化
    ・制御盤まわりの省スペース化
    ・省配線化
    などを実現
  • 測定子の交換が容易
  • フィラメント材には耐食性に富んだ白金を使用
  • 今までお使いいただいている測定子(SP1:WP-01,02,03,16)がそのまま使用可能
  • セットポイント2点の出力が可能
  • SP1: 圧力は0~5V出力(非線形出力)
  • 電源電圧:DC24V入力で作動可能

お役立ち情報

購入時の注意点
  • 測定子の種類ご指定ください。
    ※取付取合い(サイズ、形状)により測定子型式が変わります。 
  1. WP-01 (φ18ゲージポート)
  2. WP-02 (φ15ゲージポート)
  3. WP-03 (Rc 3/8PTネジ)
  4. WP-16 (NW16)
  • ディスプレイ、ディスプレイユニットケーブル(SP1⇔ディスプレイユニット)は別売りになります。
  • ケーブル長ご指定ください。

ディスプレイ:ISG1、IM1R1、IM2R2
ディスプレイユニットケーブル:
2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m、45m、50m、60m、70m、80m、90m、100m

セレクションガイド

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