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製品情報

薄膜計測

アルバックは、ご用途、測定目的に合った豊富なバリエーションの高速分光エリプソメータをご提供しています。

高速分光エリプソメータ UNECS-1500M(手動ステージ)

φ150mm対応の手動ステージタイプ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500Mは、操作性の良いφ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。>> エリプソメータのラインアップはこちらから

触針式プロファイラP-7/P-17

P-7/P-17 は優れた測定再現性と長距離測定、自動シーケンスなど多彩な機能を備えたKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーで...

自動搬送機構付き触針式プロファイラ P-170

P-170は実績豊富なP-17をベースに自動搬送機構を追加したモデルです。 搬送ロボット、プレアライナ、自動XY-θステージ、パターン...

触針式プロファイラ Alpha-Step D-500/D-600

Alpha-Step D-500/D-600 は、さまざまな試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社...

光学式プロファイラ Zetaシリーズ

Zetaシリーズは非接触・非破壊でさまざまなサンプル表面の3D形状を簡単・迅速に測定する光学式プロファイラです。オプションで光干渉や反...

非接触型金属膜厚測定器 MESEC

MESEC BIT-2000/3000(ビルドイン型)
半導体配線プロセスにおいて、ウェーハ上に成膜された金属薄膜の膜厚分...

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