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製品情報

雰囲気可変型ランプ加熱装置 VHCシリーズ

雰囲気可変型ランプ加熱装置 VHCシリーズ

太陽電池から化合物半導体等のプロセス開発に。
VHCシリーズはQHCシリーズの機能に加えて真空排気系とピラニ真空計が搭載されています。
加熱操作をパソコン上で行え手軽にデータ管理出来ます。お客様のニーズに合わせたカスタマイズが可能です。

用途

  • 太陽電池基板の熱処理
  • 水素雰囲気下での熱処理
  • 各種材料の基礎研究用雰囲気アニール・熱処理シミュレータ
  • ガスクェンチ熱処理
  • 熱サイクル試験 熱衝撃試験
  • 半導体材料の焼成、アニール条件の検討
  • 2インチウェハ研究用アニール
  • セラミックスのO₂量制御雰囲気での熱処理

特長

  • 高速加熱から低速加熱まで幅広い条件設定
  • 多段ステップ サイクル加熱
  • ガス冷却機構による高速ガスクェンチ、クーリングコントロール
  • パソコンによる手軽なデータ管理

仕様

型式 VHC-E410 VHC-P610 VHC-P616
温度範囲 室温~1400℃ 室温~1200℃ 室温~1200℃
試料寸法 φ15mm×長100mm φ50mm×長100mm φ50mm×長150mm
均熱ゾーン(保持時目安) φ10mm×80mmL φ40mm×80mmL φ40mm×120mmL
測定雰囲気 大気中、ガス中、ガスフロー中、真空中(真空排気系はオプション)
アプリケーション ロータリーポンプ排気セット
冷却水循環装置
特殊仕様装置で高真空対応も可能
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