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製品情報

各種電源・ロボット関連

アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活かした、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。
また、成膜装置向け電源と各種EBガンを提供しています。

成膜用電源 / EBガン

EBガン、EB電源、DC電源、RF電源などアルバックが長年の装置製造で培ったプロセス...

光学式プロセスモニタ

さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。

真空搬送ロボット

アルバックの真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとしての豊富な技術と経験を活...

ソフトウェア

装置診断システム FABISEQ(プロセス装置のデータを収集、グラフ表示するソフトウェ...

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