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製品情報

ガス分析計 (プロセスガスモニタ)

アルバックの残留ガス分析(プロセスガスモニタ)は、シンプルさと使いやすさを実現しました。各種真空装置用(真空蒸着装置、スパッタリング装置、真空炉)や研究開発用など用途別にラインアップしています。

昇温脱離ガス分析装置 TDS-M202R  

質量分析計を用いて脱離ガスの定性分析に赤外線ゴールドイメージ炉により試料を昇温させながら、試料温度と放出ガスの関係を四重極型質量分析計...

残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ コンパクトプロセスガスモニタ Qulee CGMシリーズ

高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計/プロセスガス...

残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ ベーシックプロセスガスモニタ Qulee BGMシリーズ

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの新型残留ガス分析計(RGA)です。各種生産ラインの設備技術の方々の声を形にし...

残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGMシリーズ

革命的なシンプルさと使いやすさとともに実現したULVACの残留ガス分析計Quleeシリーズのハイエンドモデル機"Qulee HGM"で...

リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202 / RGM-302

リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302は、Quleeシリーズのエッチング、CVD等の反応性プロセス...

差動排気系キット付き四重極型質量分析計 Qulee with YTP

差動排気系キット付き四重極型質量分析計(Qulee with YTP)は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合...

ガス分析計用ソフトウェア Qulee QCS

“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計/プロセスガスモニタに対応したソフトウエアです。当ソフトウェアは、ULVAC製のほ...

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