差動排気系キット付き四重極型質量分析計
Qulee with YTP-H
差動排気系キット付四重極型質量分析計（ Qulee with YTP-H ）は、アルバックのQulee における豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR & D まで幅広く活用いただけます。
用途
- 研究開発用途向け各種ガス分析
- スパッタリング装置、真空蒸着装置などのプロセス中のガスモ ニタ
- スパッタリング装置、真空蒸着装置などの残留ガス分析
- 高真空排気装置の残留ガス分析
- 真空浸炭炉のエンドポイントおよび酸素濃度の確認
- 凍結乾燥装置の乾燥ポイントおよび不純物の確認
特長
- コストパフォーマンス抜群 差動排気系付のためプロセスモニタリングから残留ガス分析（RGA）までを1台で対応可能
- コンパクト設計 標準排気ユニットDesktop YTPを採用したコンパクト設計
- 表示部一体型の設計 PCレスでも測定可能
- 簡単操作 One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）
- 大気圧分析も可能 大気圧分析も含め、3000Pa、500Pa、100Pa、10Pa、1Paで のモニタリングが可能な仕様を準備
- 用途に応じた機種選定が可能 質量数1 ～ 100（BGM2-101/102）、1 ～ 200（BGM2-201/202）、 1 ～ 300（HGM2-302）から選択可能
- 低騒音： 運転音が43dB(A)以下の低音設計
- 真空計の専用表示器が不要： 真空計の信号を取り込み操作画面への表示が可能（真空計はオプ ション）
- リークテスト機能の充実 ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
- Ethernet対応Qulee QCS(Ver.4) 付属 ソフトウェアが標準搭載（Windows 7/8/10）
仕様
