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各検査方法の特徴

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圧力向き 検査方法 分解能
(Pa・m3/s)
漏れ箇所特定 漏れの定量化 所要時間 人為誤差 自動化 イニシャル
コスト
ランニング
コスト
環境ダメージ
加圧検査 (a)加圧放置法 条件に依存 × ×
(b)差圧法 E-6 ×
(c)水没法 E-4 × × ×
(d)水圧法 E-2 × × ×
(e)石鹸泡試験法 E-2 ×
(f)ハロゲン加圧法 E-4 ×
Heスニッファー法 E-9 × ×
真空検査 (h)真空放置法 条件に依存 × ×
(i)液塗布法 E-3 × × ×
He真空吹付け法 E-13 × ×
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