排気ユニット

アルバックの主ポンプ(ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプ、拡散ポンプ等)、ロータリーポンプ、フォアバルブ、ピラニ真空計と制御系から構成される簡易型の高真空排気ユニットです。大気圧から高真空まで本製品1台で排気できます。