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製品情報

成膜関連・アニール装置

高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。

活性化アニール装置 PFSシリーズ

PFSシリーズはSiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。基板サイズ最大φ 150mm に...

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