VACUUM2019真空展に出展いたします

開催期間 2019年9月4日(水)~6日(金)
会場 パシフィコ横浜
アクセス https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/access.html
ブースNo V-21
公式HP https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/index.html

この度、アルバック・グループより(株)アルバック、アルバック機工(株)、アルバッククライオ(株)、(株)昭和真空、アルバックテクノ(株)はパシフィコ横浜にて開催されます「VACUUM2019真空展」に合同出展いたします。
弊社ブースではアルバック・グループならではのソリューションを展示しております。
スマート社会を支える半導体、FPD、電子部品のみならず、医療機器や分析機器、さらには、最近注目を集めている新エネルギー分野や環境関連分野にも密接に関わる真空技術をご紹介いたします。
また、9月5日(木)16時からハッピーアワーでは弊社ブースでも軽食とお飲物をお楽しみいただけます。
ご来場を心よりお待ちしております。


 ULVAC Group Solution

◆ Pump

ドライ真空ポンプ LS120A

高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

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油回転真空ポンプ GHD-031

GHDシリーズは、マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、しかも長寿命です。また、吸気管の直下に逆流防止弁を搭載しているので、停止時に真空ポンプ内部が自動的に大気圧にもどります。

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クライオポンプ U8Hカットモデル

多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確のサービス体制、豊富な機種、当社のクライオポンプは世界中の生産ラインに安心してご使用いただけます。

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◆ 真空計測

スマホ対応ピラニ真空計 SWU10-U 【新製品】

大気圧から5×10-2Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計はスマホ対応できました。

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◆ 電源

DC電源 DPGシリーズ DPG-2/DPG-4

DPG-2およびDPG-4は2kWおよび4kW出力のスパッタリング用のDC電源です。高い制御精度により繰り返し再現性に優れ、より高い品質のプロセスを実現します。

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◆ 装置

プラズマクリーナー SPE-2136A

φ4~φ6インチウェハに対し残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能です。自動搬送機構を付属しておりウェハ割れ防止やウェハ移載の人件費や作業時間の削減に貢献します。

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◆ サービス

リセール

中古機器・装置の売買はもちろんのこと、改良・改善・設置から導入後のメンテナンスまで対応いたします。

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