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製品情報

熱電特性評価装置 ZEM-5シリーズ

ZEM-5

各種熱電材料の特性や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ。
高温、高抵抗、薄膜など、各種材料の特長に特化した仕様で、さまざまなニーズにお応えできる熱電特性評価装置です。

用途

  • 半導体系、セラミックス系、金属系などの幅広い材料の熱電特性評価

特長

  • 各種熱電材料の特長や薄膜などの特殊仕様に対応したシリーズ
  • 温度検出センサに、C熱電対を採用し、Si系熱電材料(SiGe、MgSiなど)の評価に最適(HT型)
  • オーミックコンタクトを自己診断するV/Iプロットを標準装備
  • 最高1200℃までの測定が可能(HT型)
  • 最大10MΩの高抵抗に対応(HR型)
  • 基板に成膜された材料の測定が可能(TF型)
  • ‐150℃~200℃の温度制御が可能(LT型)

特許や規格

熱電能JIS R 1650-1
抵抗率JIS R 1650-2

仕様

型式 ZEM-5HT ZEM-5HR ZEM-5LT ZEM-5TF
測定物性 ゼーベック係数、電気抵抗率
温度範囲 100℃~1200℃ 100℃~800℃ -150℃~200℃ 50℃~500℃
試料寸法 角2~4mmまたはφ2~4mm×長3~15mm 成膜基板:幅2~4mm×厚0.4~1.2mm×長20mm
薄膜厚:nmオーダ以上
※サンプル膜と基板の間に絶縁層を要す。
測定雰囲気 低圧Heガス中
アプリケーション 冷却水循環装置
特殊使用のカスタムも検討
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