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製品情報

小型真空蒸着装置 VTR-350M/ERH

真空蒸着装置 VTR-350M/ERH

ターボ分子ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコ ンパクトに収納。

このDEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。

特長

  1. キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
  2. アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
  3. ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  4. メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  5. 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着(最大4層)が可能です。
  6. RoHS対応

仕様

型  式 VTR-350M/ERH



到達圧力
4.0×10-4Pa
2.0×10-4Pa(液体窒素使用時)※1
排気時間
4.0×10-3Pa/10min
3.0×10-3Pa/10min(液体窒素使用時)※1


真空槽
ガラスベルジャー(内径φ300mm×高さ300mm)
フィードスルカラー
12ポート(側面8/底面4)
基板推奨サイズ・最大サイズ※2
□50mm ・ □140mm(Max)


蒸発電極構成
1点式
蒸発電源・数量
SEREM PSE-150C 1 式
0~10V 150A(Max)


メインポンプ
ターボ分子ポンプ (345L/sec)
液体窒素トラップ
オプション
補助ポンプ
油回転真空ポンプ(200L/min)
オイルミストトラップ
インライントラップ OMI-200


メインバルブ
バタフライバルブ
補助バルブ
三方向バルブ
自動リークバルブ
有り
操作
手動


ピラニ真空計
GP-1G
電離真空計
GI-M2

本体最大寸法
730mm(W)×584mm(D)×1161mm(H)
電源最大寸法
480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
本体質量
165kg
電源質量
40kg

※1:液体窒素トラップはオプションです。
※2:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

ユーティリティ

型  式 VTR-350M/ERH
 所要電気量
本体
100V 単相 50/60Hz 1.4kVA
電源
200V 単相 50/60Hz 1.5kVA
 アース端子
D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
 取り合い
本体 1φ100V
ビニルキャプタイヤケーブル(R3.5-4 圧着端子付) 4m
電源 1φ200V
ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図/図面ダウンロード

CAD図面データ(DXFファイル)をご利用の方は、アルバック機工サイトよりダウンロードできます。

VTR-350M/ERH 寸法図

CADデータダウンロード(DXF)

■ 蒸発電源 SEREM

VTR-350M/ER 蒸発電源 SEREM

真空槽内部構成

基本構成

VTR-350M/ERH 真空槽内部構成図

研究開発の目的に合わせて、カスタマイズいたします。

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