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製品情報

小型真空蒸着装置 VTR-060M/ERH

架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。

特長

  • 卓上型のコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
  • ターボ分子ポンプを搭載しています。
  • スイッチ操作だけで高真空排気が可能です。
  • 高い拡張性を有し、多層膜蒸着、基板回転が可能です。
  • 低融点金属の蒸着に最適です。

仕様

項目 単位
到達圧力 Pa 10-4
排気時間   4.0×10-3Pa/20min
真空層   円筒型ガラスチャンバー(φ236mm×H250mm)
フィードスルーカラー   7ポート(底面)
基板推奨サイズ   □50mm ・ □120mm(Max)
基板/電極間距離   Max 200mm
蒸発電極構成   1点式
蒸発電極   SEREM PSE-150C・1 式 0-10V 80A(Max)
メインポンプ   ターボ分子ポンプ 60L/sec
補助ポンプ   油回転真空ポンプ 20L/min
オイルミストトラップ   OMT-050A
メインバルブ   オプション(バタフライバルブ)
補助バルブ   オプション(三方向バルブ)
自動リークバルブ   オプション
操作   手動
膜厚計   オプション (CRTM-6000G)
最大寸法 mm 428(W) × 438(L) × 713(H)
質量 kg 50
最大寸法(電源) mm 480(W) × 435.3(D) × 149(H)
質量(電源) kg 24
RoHS対応  

ユーティリティ

項目
所要電気量(本体) 単相 (100V)(50/60Hz): 0.6kVA
所要電気量(電源) 単相 (100V) (50/60Hz): 0.8kVA
取り合い(本体) 単相 (100V): ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 4m
取り合い(電源) 単相(100V): ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 4m

寸法図/図面ダウンロード

CAD図面データ(DXFファイル)をご利用の方は、アルバック機工サイトよりダウンロードできます。

CADデータダウンロード(DXF)

特記事項

  • アース付コンセントを、2系統ご用意願います
  • バルブ配管セット付の場合の到達圧力は1.5×10-3Paになります。

オプショナルパーツ

分類名 シリーズ 品名
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 防着板
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 補助ポンプ用自動リークバルブ
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ カーボン電極セット
成膜装置オプショナルパーツ 膜厚コントローラ CRTM-6000G
成膜装置オプショナルパーツ 膜厚センサー CRTS-4
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 電極仕切板
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 金属チャンバー
成膜装置オプショナルパーツ 蒸発電源 蒸発電源 SEREM PSE-150C
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 基板加熱装置 SH-350F
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 基板加熱装置 SH-650F
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 試料ホルダー
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 基板回転機構
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 計器ラック
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ 真空計セット
成膜装置オプショナルパーツ VTR-060専用オプショナルパーツ バルブ配管セット

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