油回転真空ポンプ
VSシリーズ [650〜750m3/h(10833〜12500 L/min)]
VS650A/VS750A は、1段式の回転翼型油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選び頂けます。
用途
- 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
- 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
- リークテスト装置
- ガス置換、充填、真空断熱
- 熱処理炉、溶解炉
- その他各種真空装置
特長
- 大排気量の1段式ベーン型ポンプ
650m3/hと750m3/hの2機種を用意しました。メカニカルブースターポンプと組み合わせることにより、さらに大排気量の排気が可能になります。 - 低振動
揺動ピストンポンプのような低周波領域の振動が低減でき、工場建屋の基礎工事が不要になりました。上層階への設置が可能です。 - 優れたメンテナンス性
大容量のオイルタンク（油量：Max30L）によりオイル交換サイクルが伸びます。さらにオイルタンク内の掃除用に大きな開口部を設けておりますので、オイル交換も容易に行えます。 - オイルミストフィルタを内蔵
オイルタンク内にオイルミストフィルタを内蔵しています。カートリッジ式のフィルタエレメントは交換が容易に行えます。 - 空冷と水冷の選択が可能
設置環境に合わせて空冷と水冷の選択ができます。油温を下げるためオイルクーラを採用しています。
仕様
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型式
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VS650A-A | VS650A-W | VS750A-A | VS750A-W | |||
| 最大排気速度 m3/h（L/min） | 50Hz | 650（10833） | 750（12500） | ||||
| 60Hz | 750（12500） | 運転できません | |||||
| 到達圧力 *1 Pa | GP 閉 | ≤ 8 | |||||
| GP 1箇所 開 | ≤ 50 | ||||||
| GP 2箇所 開 | ≤ 60 | ||||||
| 水蒸気許容値 *2 Pa | GP 1箇所 開 |
50Hz | 4500 | 2500 | 5500 | 2500 | |
| 60Hz | 5500 | 2500 | 運転できません | ||||
| GP 2箇所 開 |
50Hz | 6000 | 3800 | 7500 | 4000 | ||
| 60Hz | 7500 | 4000 | 運転できません | ||||
| 水蒸気処理量 *2 kg/h | GP 1箇所 開 | 50Hz | 17 | 11 | 24 | 13 | |
| 60Hz | 24 | 13 | 運転できません | ||||
| GP 2箇所 開 | 50Hz | 26 | 15 | 34 | 19 | ||
| 60Hz | 34 | 19 | 運転できません | ||||
| モータ *3 | 形式 | 全閉外扇形 三相誘導電動機 | |||||
| 出力kw（Poles） | 22（4） | ||||||
| 消費電力 kW *6 | 50Hz | 200〜240/380〜415 | |||||
| 60Hz | 200〜240/380〜460 | 運転できません | |||||
| 使用油 *4 | ULVOIL R-7 | ||||||
| 所要油量 L | 23〜27 | 25〜30 | 23〜27 | 25〜30 | |||
| 冷却方式 | 空冷 | 水冷 | 空冷 | 水冷 | |||
| 冷却水 | 一次側圧力 MPa | － | ≥ 0.5 | － | ≥ 0.5 | ||
| 出入口差圧 MPa | － | ≥ 0.1 | － | ≥ 0.1 | |||
| 冷却水量 L/min | － | ≥ 3.0 | － | ≥ 3.0 | |||
| 冷却水温度 °C | － | 5〜30 | － | 5〜30 | |||
| 吸気口 | DN100 ISO-K | ||||||
| 排気口 | DN100 ISO-K | ||||||
| 質量 kg | 806 | 800 | 802 | 796 | |||
| 外形寸法 W×D×H mm | 1490×905×705 | 1490×841×705 | 1490×905×705 | 1490×841×705 | |||
| 適合規格 | CE/cTUVus | ||||||
| 標準付属品 | 油1台分、取扱説明書1部 | ||||||
| オプション | 安全増防爆型モータ・耐圧防爆型モータ・電圧指定モータ・JISフランジ *5 ・ガスバラストガス2（手動） | ||||||
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型式
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PMB2400D +VS650A-A |
PMB2400D +VS650A-W |
PMB2400D +VS750A-A |
PMB2400D +VS750A-W |
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| 最大排気速度 m3/h（L/min） | 50Hz | 2500（41667） | 3100（51667） | ||||
| 60Hz | 3100（51667） | 運転できません | |||||
| 到達圧力 *1 Pa | GP 閉 | ≤ 0.8 | |||||
| GP 1箇所 開 | ≤ 5 | ||||||
| GP 2箇所 開 | ≤ 6 | ||||||
| 水蒸気許容値 *2 Pa | GP 1箇所 開 |
50Hz | 1200 | 750 | 1600 | 700 | |
| 60Hz | 1600 | 700 | 運転できません | ||||
| GP 2箇所 開 |
50Hz | 2500 | 1200 | 2800 | 1200 | ||
| 60Hz | 2800 | 1200 | 運転できません | ||||
| 水蒸気処理量 *2 kg/h | GP 1箇所 開 |
50Hz | 16 | 10 | 24 | 11 | |
| 60Hz | 24 | 11 | 運転できません | ||||
| GP 2箇所 開 |
50Hz | 26 | 15 | 34 | 19 | ||
| 60Hz | 34 | 19 | 運転できません | ||||
| モータ *3 | 形式 | 全閉外扇形 三相誘導電動機 | |||||
| 出力 kW(Poles) | MBP:7.5(2)+ RP:22(4) | ||||||
| 消費電力 kW *6 | 50Hz | 9 | 12 | ||||
| 60Hz | 12 | 運転できません | |||||
| 電圧 V | 50Hz | 200～240/380～415 | 200～240/380～415 | ||||
| 60Hz | 200～240/380～460 | 運転できません | |||||
| 使用油 *4 | MBP:ULVOIL R-4＋RP:ULVOIL R-7 | ||||||
| 所要油量 L | MBP:3.6～4.0 RP:23～27 |
MBP:3.6～4.0 RP:25～30 |
MBP:3.6～4.0 RP:23〜27 |
MBP:3.6～4.0 RP:25〜30 |
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| 冷却方式 | 空冷 *7 | 水冷 | 空冷 *7 | 水冷 | |||
| 冷却水 | 一次側圧力 MPa | － | ≥ 0.5 | － | ≥ 0.5 | ||
| 出入口差圧 MPa | － | ≥ 0.1 | － | ≥ 0.1 | |||
| 冷却水量 L/min | MBP:≥3.0 PR:≥3.0 |
≥3.0 | － | MBP:≥3.0 PR:≥3.0 |
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| 冷却水温度 °C |
－ | 5〜30 | － | 5〜30 | |||
| 吸気口 | VG200/DN 160 ISO-K (オプション) | ||||||
| 排気口 | DN100 ISO-K | ||||||
| 質量 kg | 1076 | 1070 | 1072 | 10666 | |||
| 外形寸法 W×D×H mm | 1490×905×1260 | 1490×841×1260 | 1490×905×1260 | 1490×841×1260td> | |||
| 適合規格 | CE/cTUVus | ||||||
| 標準付属品 | 油1台分、取扱説明書1部 | ||||||
| オプション | [MBPについて] 安全増防爆型モータ・耐圧防爆型モータ・電圧指定モータ・ISOフランジ ・大気圧駆動 （インバータ）・MBPアダプタ |
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| 注) | 本仕様表は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。 8.0Pa＝6×10-2Torr | ||||||||||||||||||
| *1 | ピラニ真空計にて測定（マクラウド真空計では約0.8Paになります） | ||||||||||||||||||
| *2 | 水蒸気許容値および水蒸気処理量は以下の冷却水量で測定しています。なお冷却水入口温度は26°Cです。 | ||||||||||||||||||
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| *3 | オプションにて、安全増防爆型、耐圧防爆型モータも対応できます。ただし、マルチ電圧は選定できません。 | ||||||||||||||||||
| *4 | 他の種類の油も用意しておりますので、お問い合わせください。 | ||||||||||||||||||
| *5 | 吸排気口をJISフランジとした場合、配管取合の寸法が変化します。 | ||||||||||||||||||
| *6 | 到達圧力時の数値です。 | ||||||||||||||||||
| *7 | インバータ付きのみとなります。400～50000Paの圧力領域において、水冷仕様と比較して排気速度が低下します。 | ||||||||||||||||||
