高速型真空蒸着装置 VPC-1100
【水冷式油拡散ポンプ（1100L/sec）＋油回転真空ポンプ】
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
- アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
- 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
- ＥＢ仕様への変更で高融点材料の成膜が可能です。
- RoHS対応
仕様
| 型 式 | VPC-1100 | |
|---|---|---|
| 真 空 性 能 |
到達圧力
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4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液体窒素使用時） |
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排気時間
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4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa/10min（液体窒素使用時） |
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| 真 空 槽 |
真空槽
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ガラスベルジャー（内径φ390mm×高さ350mm) |
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フィードスルカラー
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20ポート(側面14/底面6) | |
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基板推奨サイズ・最大サイズ※１
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□50mm ・ □220mm（Max） | |
| 電 源 系 |
蒸発電極構成
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3点式 |
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蒸発電源・数量
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SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 150A（Max) |
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| 排 気 系 |
メインポンプ※２
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油拡散ポンプ（水冷） 1100L/sec |
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液体窒素トラップ
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有り | |
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補助ポンプ
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油回転真空ポンプ 200L/min、2台 | |
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オイルミストトラップ
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オプション | |
| 操 作 系 |
メインバルブ
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バタフライバルブ |
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補助バルブ
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三方向バルブ | |
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自動リークバルブ
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オプション | |
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操作
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手動 | |
| 制 御 系 |
ピラニ真空計
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GP-1G |
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電離真空計
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オプション | |
| 設 置 |
本体最大寸法
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1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
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電源最大寸法
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装置本体収納 | |
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本体質量
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313kｇ | |
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電源質量
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装置本体収納 | |
※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
※2：ターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）仕様にアレンジいたします。
ユーティリティ
| 型 式 | VPC-1100 | |
|---|---|---|
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所要電気量
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本体
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200V 3相 50/60Hz 5.0kVA |
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本体
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100V 単相 50/60Hz 1.0kVA | |
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アース端子
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Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
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取り合い
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本体 3φ200V
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ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m |
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本体 1φ100V
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ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 4m | |
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所要水量
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1.5 L／min （水温：20～25℃、水圧：200kPa （ゲージ圧）） | |
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取り合い （ソケット）
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Rp1/4 （カンタッチ継手付） | |
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推奨ホース※
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テトロンブレードホース（内径9mm×外径15mm） | |
※冷却水配管は、お客様にて準備願います。
真空槽内部構成
基本構成
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[1]
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受皿
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[2]
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フィルター
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[3]
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サービスポート（L）
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[4]
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サービスポート（S）
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[5]
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ゲージポート
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[6]
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ハーメチックポート
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[7]
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シャッター
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[8]
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電極コモン
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[9]
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電極 １
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[10]
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電極 ２
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[11]
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電極 ３
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※研究開発の目的に合わせて、カスタマイズいたします。
