赤外線ゴールドイメージ炉 VHT-Eシリーズ
赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。
赤外線ゴールドイメージ炉は研究開発や生産装置としてさまざまな分野でご利用頂いております。
高速加熱からワイドエリアの加熱までお客様のニーズにお応えします。
用途
- Si、化合物半導体のRTA
- ガラス・セラミック基板のアニール炉
- 金属の雰囲気焼鈍炉
- 複合材料の耐熱評価炉
- 高温引張・圧縮試験用加熱炉
特長
- ハロゲンランプ加熱方式で最高1800℃までの加熱が可能
仕様
| 型式 | VHT-E44 | VHT-E48 | VHT-E64 | VHT-E68 |
|---|---|---|---|---|
| 温度範囲 | 室温～1700℃ | 室温～1800℃ | 室温～1700℃ | 室温～1800℃ |
| 熱処理ゾーン | φ10mm×35mm | φ10mm×60mm | φ20mm×35mm | φ20mm×60mm |
