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製品情報

小型真空蒸着装置 VFR-200M/ERH

VFR-200M/ERH

空冷式油拡散ポンプ+油回転真空ポンプを採用。抵抗加熱式の小型真空蒸着装置。
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

DEPOXシリーズの詳しい操作手順を You Tube にて公開しています。お役立てください。

特長

  1. キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
  2. ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  3. メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  4. 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
  5. RoHS対応

仕様

型  式 VFR-200M/ERH



到達圧力
8.0×10-4Pa
6.0×10-4Pa(液体窒素使用時)
排気時間
4.0×10-3Pa/15min
3.0×10-3Pa/15min(液体窒素使用時)


真空槽
ガラスベルジャー(内径φ300mm×高さ300mm)
フィードスルカラー
12ポート(側面8/底面4)
基板推奨サイズ・最大サイズ※1
□50mm ・ □140mm(Max)


蒸発電極構成
1点式
蒸発電源・数量
SEREM PSE-150C 1 式
0~10V 150A(Max)


メインポンプ
油拡散ポンプ(空冷)(200L/sec)
液体窒素トラップ
有り
補助ポンプ
油回転真空ポンプ(100L/min)
オイルミストトラップ
インライントラップ OMI-100


メインバルブ
バタフライバルブ
補助バルブ
三方向バルブ
自動リークバルブ
オプション
操作
手動


ピラニ真空計
GP-1G
電離真空計
GI-M2

本体最大寸法
730mm(W)×603mm(D)×1161mm(H)
電源最大寸法
480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
本体質量
145kg
電源質量
40kg

※1:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

ユーティリティ

型  式 VFR-200M/ERH
所要電気量
本体
100V 単相 50/60Hz 1.4kVA
電源
200V 単相 50/60Hz 1.5kVA
アース端子
D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い
本体 1φ100V
ビニルキャプタイヤケーブル(R3.5-4 圧着端子付) 4m
電源 1φ200V
ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図/図面ダウンロード

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VFR-200M/ERH 寸法図

CADデータダウンロード(DXF)

■ 蒸発電源 SEREM

VFR-200M/ERH 蒸発電源 SEREM

真空槽内部構成

基本構成

VFR-200M/ERH 真空槽内部構成

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