UTM70B
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化に より省スペースを実現。優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。
用途
・分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系・蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系
・H2、Heなどの軽ガスの主排気系
特長
・取り付け方向自由取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。
・オンボードコントローラ搭載
コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。
・高圧縮比・高排圧
圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。
・3種類のフランジを用意
VG65、ICF114、ISO63-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。
・清浄な真空
運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。
・低騒音
無負荷運転時の騒音は48dB以下と静かです。
（ISO63-Kフランジタイプの測定値です。）
仕様
データダウンロード
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