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製品情報

粉体吸着トラップ TROシリーズ

粉体吸着トラップ TRO-100

TRO シリーズは、CVD などの多量な粉体が発生するプロセスでの使用に効果を発揮します。
装置と油回転真空ポンプの間に設置することにより、プロセスで発生した粉体をトラップします。油を使用した特殊トラップ方式を採用していますので、長時間コンダクタンス減少がなく粉体を吸着することができます。
また、蒸気圧の低い油を用いることにより、油回転ポンプからチャンバ側への油の逆流を阻止する効果がありますので、プロセスの品質や歩留向上に役立ちます。

特長

  • コンダクタンスの減少が少ない
    従来のフィルタ式粉体トラップのような粉体の吸着に伴うコンダクタンスの減少はありません。
  • 高耐食性
    排ガス部には耐食性に富んだステンレス鋼およびフッ素ゴムを使用しています。
  • 保守が容易
    保守は油の交換のみでよく、粉体を吸着した油の状態が覗き窓から観察でき、排気口にはボールバルブが標準装備されています。
  • ポンプのメンテナンス期間が延長
    油回転真空ポンプの油交換期間及びオーバーホール期間が延長されます。(例:CVDプロセスで4倍以上)
  • 油の逆流が少ない
    油回転真空ポンプ単体の時に比べ、チャンバ側への油の逆流は少なくなります。(1/2以下)

仕様

諸元 型式 TRO-50 TRO-80 TRO-100
油量 L  2.5  8  19
推奨油※1  ULVOIL R-4
吸気口径JIS B 2290  VG50相当  VG80相当  VG100相当
排気口径JIS B 2290  VG50相当  VG80相当  VG100相当
適応ポンプ 容量 L/min  ≦ 1600  ≦ 4000  PKS-070
適応ポンプ例 VD シリーズ、
PKS-016
VS シリーズ、
PKS-030
 PKS-070
質量 kg  30  75 130 
使用電動機※2 W  25  60  90
材質 本体:SUS304、ガスケット:フッ素ゴム

外形寸法図 (単位:mm )

粉体吸着トラップ TROシリーズ TRO-100 外寸図

 

寸法表(単位:mm )

  TRO-50 TRO-80 TRO-100
A 390 600 740
B 290 440 550
C 135 190 240
D 190 200 320
E 260 370 470
F 115 145 195
G 120 200 250
H 140 200 260
I 455 620 730
J 40 50 55
K 140 195 240
L VG50 VG80 VG100
M VG50 VG80 VG100
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