粉体吸着トラップ TROシリーズ
TRO シリーズは、CVD などの多量な粉体が発生するプロセスでの使用に効果を発揮します。
装置と油回転真空ポンプの間に設置することにより、プロセスで発生した粉体をトラップします。油を使用した特殊トラップ方式を採用していますので、長時間コンダクタンス減少がなく粉体を吸着することができます。
また、蒸気圧の低い油を用いることにより、油回転ポンプからチャンバ側への油の逆流を阻止する効果がありますので、プロセスの品質や歩留向上に役立ちます。
特長
- コンダクタンスの減少が少ない
従来のフィルタ式粉体トラップのような粉体の吸着に伴うコンダクタンスの減少はありません。 - 高耐食性
排ガス部には耐食性に富んだステンレス鋼およびフッ素ゴムを使用しています。 - 保守が容易
保守は油の交換のみでよく、粉体を吸着した油の状態が覗き窓から観察でき、排気口にはボールバルブが標準装備されています。 - ポンプのメンテナンス期間が延長
油回転真空ポンプの油交換期間及びオーバーホール期間が延長されます。(例:CVDプロセスで4倍以上) - 油の逆流が少ない
油回転真空ポンプ単体の時に比べ、チャンバ側への油の逆流は少なくなります。(1/2以下)
仕様
諸元 | 型式 | TRO-50 | TRO-80 | TRO-100 |
---|---|---|---|---|
油量 | L | 2.5 | 8 | 19 |
推奨油※1 | ULVOIL R-4 | |||
吸気口径JIS B 2290 | VG50相当 | VG80相当 | VG100相当 | |
排気口径JIS B 2290 | VG50相当 | VG80相当 | VG100相当 | |
適応ポンプ 容量 L/min | ≦ 1600 | ≦ 4000 | PKS-070 | |
適応ポンプ例 | VD シリーズ、 PKS-016 |
VS シリーズ、 PKS-030 |
PKS-070 | |
質量 | kg | 30 | 75 | 130 |
使用電動機※2 | W | 25 | 60 | 90 |
材質 | 本体:SUS304、ガスケット:フッ素ゴム |
寸法表(単位:mm )
TRO-50 | TRO-80 | TRO-100 | |
---|---|---|---|
A | 390 | 600 | 740 |
B | 290 | 440 | 550 |
C | 135 | 190 | 240 |
D | 190 | 200 | 320 |
E | 260 | 370 | 470 |
F | 115 | 145 | 195 |
G | 120 | 200 | 250 |
H | 140 | 200 | 260 |
I | 455 | 620 | 730 |
J | 40 | 50 | 55 |
K | 140 | 195 | 240 |
L | VG50 | VG80 | VG100 |
M | VG50 | VG80 | VG100 |