ガスバリア膜ガス透過性計測装置T&A（Transmittance Analyzer)
アルバック販売は、TI社製造のガスバリア膜ガス透過性計測装置T&A（Transmittance Analyzer)の販売協力を開始しました。
特長
水蒸気10-6ｇ/ｍ2/Dの測定が安定して測定可能です。
従来の容器壁からの放出ガス（水）やバッククランドによる不確かで測定が安定しない課題や透過量の絶対値校正ができない問題点を独自の技術で解決しました。
真空中でのベーキングによる脱ガスによるバッククランド低減、標準コンダクタンスエレメントを使用した透過ガスの絶対値校正を実現しました。
※東京ドーム敷地面積（約５万ｍ2）を一滴の水（0.05ml）が１日で透過する量
0.05/50,000 ＝ 1×10-6g/m2/day
ガスバリア膜の要求レベル
ガス透過量の主な測定法比較
販売製品
差圧式透過率測定装置
水蒸気10-6ｇ/ｍ2/Dの測定が安定して測定できる唯一の装置です。
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標準コンダクタンスエレメント（SCE)を |
バリアフィルム計測時のガス流れ |
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測定例
測定例1
一次側GAS：水蒸気(6.8kPa)
測定温度：40℃
試料：125mmハイバリアフィルム
測定例2
一次側GAS：空気+水蒸気(6.8kPa)
測定温度：40℃
試料：60μmバリアフィルム
水蒸気透過率 = 9.5677E+09*ΔQ1.2749
=8.9×10-4 (g/m2/day)
窒素透過率 = 2.1211E+10*ΔQ0.9679
=5.0×10-2 (cc/m2/day)
酸素透過率 = 2.1162E+10*ΔQ0.94618
=1.1×10-1(cc/m2/day)
標準コンダクタンスについて
H23-25年度 戦略的基盤 技術高度化事業（サポイン）
「標準コンダクタンスエレメントを用いた基準微小ガス流量装置の開発」
産総研，ULVAC，PJ
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