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製品情報

スーパートラップ Speedシリーズ TS型

スーパートラップ Speed シリーズ TS型

ヘリウム冷凍機を用いるスーパートラップは、水分の排気速度を大幅にアップさせて、装置の稼働率向上に寄与します。
使用する冷媒は、地球温暖化係数が低く、環境に優しい製品です。



用途

  • 水分の多いバッチ式装置、光学用成膜装置等に最適。
  • あらゆる真空装置に適用可能

特長

  • 冷媒はヘリウムガスを使用します。フロンガスは不要です。
  • 短時間で冷却、昇温が完了。(5〜15分以内、仕様によって異なります)
  • 軽量、コンパクト、施工が簡単。(床置きユニットの設置スペースはフロン系トラップの3分の1程度)
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