真空機器の国内総合商社 真空機器はアルバック販売へ!
製品情報

G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ
SH2-1/SH2-2

ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』(特許申請中)を開発、製品化しました。従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。



用途

・ 太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に

・ インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に

・高真空・超高真空装置の圧力測定に

特長

・ 広領域測定:大気圧から高真空領域(10+5〜5×10-8Pa)の測定が可能(SPU・SAU同時使用の場合)

・ 異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージ(特許申請中)の採用により用途に応じた測定子の選択が可能

・ 正確な大気圧測定:大気圧確認が容易にかつ正確に可能(SAUを使用した場合)

・ 低環境負荷対応:必要に応じた測定子のみの交換が可能なためランニングコストの低減が可能

・ 視認性の向上:異常を確認できるLEDを搭載

・ メンテナンス性:測定子の交換が容易

・ 測定値出力信号:圧力は0 〜 10V出力(Log出力)

・ 制御出力信号:セットポイント3点出力が可能(SH2-1)

・ シリアル通信仕様:RS232C/RS485通信が可能(SH2-2)

・ 適合規格:CE標準対応

仕様

型式 SH2-1 SH2-2
仕様 標準仕様 シリアル通信仕様
適応マルチイオンゲージセンサ M-34(NW16)、M-35(NW25)、M-36(UFC070)
接続可能センサ マルチイオンゲージセンサ:1本
ピラニゲージSPU:1本(オプション)
大気圧センサSAU:1本(オプション)
サンプリング時間 70ms 4回の移動平均処理
測定値出力 出力電圧 DC 0〜10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2)
P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
* セットポイント調整用の出力電圧も兼ねます(SH2-1のみ)
更新時間 50msec
制御入力信号 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
オープンコレクタ入力で動作、負論理
* FIL ON/OFF信号はモードにより使用方法が異なる
制御出力信号 センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、
フィラメント電力監視
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
シリアル通信仕様 RS232C/RS-485
LED表示 POWER/ERROR: パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
FIL: エミッションバリッドLED
SET1: セットポイント1LED
SET2: セットポイント2LED
SET3: セットポイント3LED
エミッション電流 1mA(1×10-3Pa以下)、10μA
DEGAS 電子衝撃脱離方式(エレクトロンボンバード)1mA、330V
センサ耐圧 2×10+5Pa(絶対圧)
* フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
センサ内容積 34cm3(M-34)
使用温度範囲 10〜50ºC
使用湿度範囲 15〜80%(ただし、結露なきこと)
保管温度 -20〜65ºC(非通電時、結露なきこと)
IP保護等級 IP30
電源電圧 DC20〜28V (リップル、ノイズ1%以下) 
19W以下(電源投入時156W)
入出力コネクタ D-sub15ピン(M2.6ネジ)
質量 コントローラ:約530g B-A測定子(M-34):63g
外形寸法 W×D×H 144mm×75mm×62mm以下(コントローラ部)
適合規格 CE




マルチイオンゲージセンサ M-34(NW16)、M-35(NW25)
材質:フィラメント1-Ir/Y2O3コート、
フィラメント2-W(タングステン)、
その他-PtC・Mo、SUS、W
ピラニゲージ SPU
ピラニゲージセンサ WP-16(NW16)
材質:フィラメント-Pt、
その他-BS/Ni、メッキ、Ni、半田
大気圧センサ SAU(NW16) 材質:SUS316L
ユニットケーブル SPU用0.5m、SAU用0.5m
ディスプレイユニット 1CH:Model ISG1 (DC24V電源使用)
4CH:Model IM1R1 (DC24V電源使用) 、
Model IM2R1 (AC100V電源使用)
ディスプレイユニットケーブル SH2〜ディスプレイユニット間ケーブル
2m、5m、10m、15m、20m

 

■ 各モード仕様:SH2-1/SH2-2は、マルチオインゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび大気圧センサとのトリプルコンビネーションモードの3種類の使用方法から選択可能です

モード SH2-1/SH2-2
単体モード
SH2-1/SH2-2+SPU
コンビネーションモード
SH2-1/SH2-2+SPU+SAU
コンビネーションモード
測定圧力範囲 5×10-8〜1×10+1Pa 5×10-8〜1×10+4Pa 5×10-8〜1×10+5Pa
測定精度 5×10-8〜1×10+1Pa:
±15%
5×10-8〜1×10+3Pa:
±15%
1.0×10+3〜3.0×10+3Pa: ±30%
3.0×10+3〜1.0×10+4Pa:
精度保証なし
5×10-8〜1×10+3Pa:
±15%
1.0×10+3〜3.0×10+3Pa: ±30%
3.0×10+3〜1.0×10+4Pa:
精度保証なし
1.0×10+4〜1.0×10+5Pa: ±3%F.S.
(3×10+3Pa・
基準温度25ºC)
繰返精度 1×10-6〜1×10-1Pa: ±2%
接続図 (例)

お役立ち情報

購入時の注意点
  • 測定子種類ご指定ください。
  • 大気圧センサ(SAU)、ピラニゲージ(SPU)オプションの有無ご指定ください。
  • コントロールユニットケーブル長(0.5m、1m、2m)ご指定ください。
  • ディスプレイ、ディスプレイユニットケーブル(SH2⇔ディスプレイユニット)は別売りになります。
    ※型式、ケーブル長ご指定ください。
セレクションガイド

真空計のセレクションガイドはコチラから

データダウンロード

カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。

すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。

Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.