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製品情報

G-TRANシリーズ SAU圧力センサユニット

大気圧近傍(ゲージ圧:-100kPa~10kPa)を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。高真空下での連続運転にも対応可能とするために内表面の材質は、SUS316Lを採用しております。



用途

  • 太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種高真空装置の大気圧確認用に
  • 真空炉をはじめとする各種産業用真空装置の大気圧確認用に
  • ゲージ圧:-100kPa~10kPa(絶対圧:10+4~10+5Pa)雰囲気を精度よく測定したい真空装置用に

特長

  • 大気圧の確認に最適  
    圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能
  • 高真空の連続使用に対応
    半導体型薄膜素子(SUS316L)を採用し、高真空連続使用に対応可能
  • 測定値出力信号  
    圧力は、DC 0~5VのLog出力が標準装備
  • 駆動電源  
    幅広くDC12~24Vに対応
  • クイックカップリング対応
    取り合いポートは、NW16を採用

仕様

SAU仕様

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