真空機器の国内総合商社 真空機器はアルバック販売へ!
製品情報

走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM)
PHI 710

オージェ電子分光法 ( AES: Auger Electron Spectroscopy) は、試料に電子線を照射したときに放出されるオージェ電子のエネルギーを測定し、試料表面の元素組成および元素分布を得る分析手法です。
PHI 710 走査型オージェ電子分光分析装置は、8nm以下のオージェ電子空間分解能を保証している世界唯一のオージェ分析装置です。アコースティックエンクロージャを標準装備し、従来のオージェ分析では不可能であった50万倍での低ドリフト(測定位置がほとんど動かない測定条件)でのオージェ分析が可能となり、真のナノメートルレベルでの微小部オージェ分析を実現します。



特長

710_1

仕様

SEM像分解能 (25kV) ≤ 3 nm
AES空間分解能(20kV,1nA) ≤ 8 nm
感度 700 kcps ( CuLMM ) @ 10 kV, 10 nA
エネルギー分解能 0.5 % 以下 (HRモード 0.1~0.5%)
到達圧力 6.7 × 10-8 Pa以下
ソフトウェア SmartSoft™-AES(測定ソフトウェア)
PHI MultiPak™(解析ソフトウェア)
オプション 6試料パーキング機構、試料冷却破断機構、EBSD、反射電子検出器、イントロカメラ、イントロコールドカソードゲージ、トランスファーベッセル、サーモバルブ

 

Copyrights© 2014 ULVAC EQUIPMENT SALES, Inc. All Rights Reserved.